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真空抽气机组的极限真空度直接影响因素主要包括以下方面：

系统漏气

漏气是限制极限真空度的首要因素。外部漏气常见于法兰连接处密封不严、焊缝裂纹、阀门失效等，内部漏气可能源于冷却水管路破裂导致水渗入真空腔体。漏气会导致系统压力波动，降低极限真空度。

真空泵性能

泵的类型（如旋片泵、罗茨泵、分子泵）和工作状态直接影响抽速和极限真空度。高温或杂质污染会降低泵的抽速和极限真空度，需定期更换密封件和维护泵体。

冷却系统配置

冷却水温度和流量直接影响蒸汽冷凝效果。冷却水出口温度越高，真空度越低，需降低出口温度（如增大水量或降低进口水温）以提高真空度。

容器原有气体

容器内残留气体成分和抽气泵的选择性密切相关。若容器内原有气体成分与泵的抽速不匹配，可能限制极限真空度。

管道与设备阻力

管道布局复杂或除沫装置阻力过大，会降低真空度稳定性。简化管道设计和优化设备配置可提升极限真空度。 ‌